真空螺絲|為真空環境打造的可靠緊固方案
真空螺絲是一款專為真空設備、半導體製程設備及高潔淨度應用所開發的特殊緊固件。相較於一般螺絲,真空螺絲可透過特殊排氣結構,協助降低螺紋孔或螺絲結構內的氣體滯留,在抽真空過程中改善氣體釋放與排氣效率,減少因 trapped gas 所造成的 outgassing 風險,適合對真空度、潔淨度及製程穩定性要求較高的設備。
產品特色
產品採用精密加工螺紋與特殊排氣設計,在維持可靠機械鎖固能力的同時,兼顧真空環境下的氣體排放需求。相較於一般標準螺絲,真空螺絲可降低封閉空間中的氣體滯留,有助於縮短抽真空時間並提升真空系統穩定性。依應用需求亦可提供低 outgassing、耐腐蝕及高潔淨度等不同規格選擇。
技術規格亮點
可依客戶設備設計提供不同頭型、螺紋規格、長度及排氣孔配置,支援常用公制與英制螺紋。材質可依使用環境選用不鏽鋼、合金鋼及其他工程材料,並可搭配適當表面處理。對於真空設備而言,螺紋精度、表面品質、清潔處理及尺寸一致性皆是重要控制項目,可依客戶圖面與品質要求進行客製化生產。
應用場景
真空螺絲廣泛應用於半導體製造設備、真空腔體、真空閥、鍍膜設備、PVD/CVD 設備、電子設備、精密機械及高潔淨度製程設備。對需要穩定真空環境及降低 outgassing 風險的 OEM 與設備製造商而言,真空螺絲能在可靠鎖固之外,進一步協助提升整體真空系統的製程可靠性。
2026-09-08